原理：利用受激原子俄歇躍遷退激過程發(fā)射的俄歇電子對試樣微區(qū)的表面成分進行的定性定量分析

應用：

定性分析---定性分析樣品表面物質(zhì)的元素種類

定量分析或半定量分析----俄歇電子強度與樣品中對應原子的濃度有線性關系，據(jù)此可以進行元

素的半定量分析，AES不是一種很好的定量分析方法，它給出的僅僅是半定量的分析結(jié)果。

案例：LED碎片，表面污染物來源診斷