二次離子質(zhì)譜
應(yīng)用：痕量雜質(zhì)定性定量（標(biāo)樣法）分析
優(yōu)點：檢測限可達(dá)PPM，甚至PPB量級，能檢測含氫在內(nèi)的所有元素及同位素，分析化合物組分及有機(jī)大分子
結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)行微區(qū)成分的成像及深度剖面分析
缺點：定量差，樣品表面需要平整，破壞樣品
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域：基體表面痕量雜質(zhì)分析
環(huán)境領(lǐng)域：大氣中微粒成分分析、地質(zhì)樣品
納米材料的結(jié)構(gòu)
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